sputtering
Sputtering, (eng., vist afledn. af nederl. sputteren 'spytte, sprutte'), forstøvning, erosion af et materiales overflade under partikelbeskydning. Effekten, der blev opdaget i 1853 af den britiske fysiker William Robert Grove (1811-96) som "kold fordampning" af en platinkatode i et